往復真空泵活塞從右端向左端運動，此時吸氣閥關閉。氣缸內的氣體隨站活塞從右向左運動而逐漸被壓縮，當氣缸內氣體的壓力達到或稍大于一個大氣壓時，排氣閥4被打開，將氣體排到大氣中，完成一個工作循環。當活塞再左向右運動時，又重復前一循環，如此反復下去，被抽容器內達到某一穩定的平衡壓力。為提高抽氣效率，一般在氣缸的兩端均設有吸氣閥和排氣閥，然后用管路將氣缸兩端的吸氣口和排氣口并聯起來。往復真空泵從安裝形式來分，有臥式往復真空泵及立式往復真空泵；從油潤滑來分，有有油往復真空泵及無油往復真空泵。真空泵相關下游應用行業保持快速增長勢頭。不銹鋼真空泵廠家

真空泵的市場根據用戶的需要而發生動態變化。市場增長的主要驅動力來自于半導體工業的迅速發展以及干泵和分子泵應用領域的日益擴大。目前，全球真空泵市場的年銷售額約20億美元，年增長率在7％左右。我國生產真空泵的廠家很多，全部真空泵的年銷售額大約在1.5億元左右(2015年)，只相當于美國公司一家真空泵的年銷售額。通過對全球真空泵市場的分析我們可以看出，各類真空泵的市場及應用領域都在不斷變化和發展。我國真空泵制造業有著悠久的歷史和雄厚的基礎，國產真泵已經在各個不同領域得到應用并經過驗證，有些泵還出口國外，得到國外用戶的認可并受到好評，應該說我國真空泵制造業在國內外市場仍然有著巨大的發展空間。干式螺桿真空泵水環真空泵用小的結構尺寸，可以獲得大的排氣量，占地面積也小。

液環式真空泵是帶有多葉片的轉子偏心裝在泵殼內。當它旋轉時，把液體拋向泵殼并形成與泵殼同心的液環，液環同轉子葉片形成了容積周期變化的旋轉變容真空泵。液環真空泵就是這種靠偏置葉輪在泵腔內回轉運動使工作室容積周期性變化以實現抽氣的真空泵。它的工作室由旋轉液環和葉輪構成，其結構和工作原理與液環壓縮機相似。當工作液體為水時，稱水環式真空泵，水環真空泵是一種粗真空泵，它所能獲得的極限真空為2000~4000 Pa，串聯大氣噴射器可達270~670 Pa。

歐美半導體行業45％以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，提高了產品的性能和質量。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。據統計，目前國產干泵的應用還不足1％，國內半導體工業用的干泵全部從國外進口，其價格十分昂貴。所以，我國應大力研究開發干泵，使干泵成為我國真空工業新的經濟增長點。水環真空泵中氣體壓縮是等溫的，可抽除易燃、易爆的氣體。

干式螺桿真空泵由于其優越的性能，在歐美和日本目前已經成為微電子、半導體、制藥、精密加工等行業選擇獲得設備。傳動軸連接主動轉子，通過同步齒輪帶動從動轉子旋轉，在殼體上開有冷卻水通道，用來冷卻轉子和排氣口溫度，同步齒輪及軸承用油潤滑，軸承和殼體內部通過密封件來密封以達到無油的效果。干式螺桿真空泵同無油螺桿壓縮機在密封和潤滑上結構類似，一般真空泵的排氣端用機械式密封件，進氣側通常用雙唇形密封件。在傳動方式上，目前通用的是直連電機，用聯軸器與轉子連接，極少數用皮帶或者傳動鏈傳動。真空泵的傳動方式，真空泵的兩個轉子是通過一對高精度齒輪來實現其相對同步運轉的。不銹鋼真空泵廠家

一般情況下，真空泵工作2000小時后應進行檢修。不銹鋼真空泵廠家

噴嘴是影響真空泵性能的重要部件，存在的問題有：噴嘴裝錯、裝歪、堵塞、損壞、腐蝕和泄漏，不管采取何種預防措施，噴嘴的堵塞在所難免。一方面由于安裝蒸汽管道時，管道中殘存的鐵屑及焊渣會堵塞噴嘴；另一方面，真空泵系統停用時，蒸汽管道易生銹，銹斑在使用時掉落堵塞噴嘴。蒸汽的影響：我們常用的真空泵為蒸汽噴發真空泵，是以過飽滿水蒸汽為作業介質的，蒸汽的狀況對泵的功能有決定性的影響。濕蒸汽不只影響泵的功能，還會腐蝕蒸汽噴嘴，添加泵的蒸汽用量，使泵的作業狀況變得不穩定。不銹鋼真空泵廠家

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